单位介绍
上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)成立于2002年3月,定位“赋有国家使命的市场化公司”。SMEE 自“十五”起,先后承担了多个国家 IC 前道光刻机研制专项任务。在专项技术的辐射下,SMEE 根据半导体产业、泛半导体产业和信息技术发展趋势与市场需求全面布局,开发了一系列高端装备,是国内唯一具备制造多领域、多品种产线应用的高端光刻机供应商。
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